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技术参数: 
| 尺寸 | 长 | 120mm | 170mm | 190mm | 
| 宽 | 110mm | 170mm | 230mm | |
| 高 | 85mm | 115mm | 115mm | |
| 导轨表面 | 水平 | 100mm | 145mm | 195mm | 
| 侧面 | 60mm | 75mm | 75mm | |
| 重量 | 1200g | 2550g | 4200g | |
| 真空吸力 | 水平 | >70N | >200N | >220N | 
| 垂直 | >120N | >220N | >270N | |
| 重复性 | 0.3µm | 0.3µm | 0.3µm | |
| 超高重复性(备选) | 0.5µm | 0.5µm | 0.5µm | |
| 平板zui大倒角 | 5mm | 7mm | 7mm | |